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德國Pfeiffer渦輪分子泵Hipace系列，采用復合軸承設計，內部主要由陶瓷球軸承，轉子軸，安全軸承和磁性軸承組成，正常運行3-4年建議做一次標準保養，常見的故障情況如下：
1.分子泵真空度正常，可以達到全速，但是噪音大：分子泵運行超過3年，可能內部陶瓷球軸承已磨損，建議送到專業真空泵維修中心進行拆解檢測；如果放任不管，后續會磨損轉子，對泵體內部造成更嚴重的損傷
2.油棉污染：油棉變黑，發黃，建議3-4年更換分子泵油棉，Pfeiffer復合軸承分子泵內部陶瓷軸承采用油潤滑方式，可以給軸承降溫，.減少軸承滾珠磨損并起到清洗分子泵軸承，避免污染物附著在軸承上面，有效延長分子泵的使用壽命。
3.分子泵無法啟動：用手撥動葉片，葉片無法轉動，轉子已完全卡死，需要立即送修我司檢測
4.異物進入分子泵：工藝環境粉塵較多或有異物進入分子泵時，會對高速旋轉的葉片和轉子造成巨大損害，建議立即停機送修檢測。
5.分子泵無法達到全速，真空度抽不下去：請檢查前級真空是否正常，如果是分子泵組，請先打開氣鎮閥抽一段時間后在觀察下，無法解決問題建議立即送修檢測
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